慶大と産総研/平板材料の屈折率と厚さ/「高精度計測技術」開発
慶応義塾大学と産業技術総合研究所は18日、平板材料の厚さと屈折率を同時に、かつ極めて高精度に計測する技術を開発したと発表した。 光の位相変化量を正確に直接計測できる「デュアルコム分光法」という手法を用いて平板シリコン材料の厚さと屈折率を非接触で多波長に対して高精度に同時計測することに成功した。光学レンズをはじめとした光学素子の高精度設計に貢...
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