住友電工は半導体製造装置用の高精度温度分布制御システムを開発したと発表した。半導体製造プロセスの前工程であるシリコンウェハ上への回路形成の工程で用いるもの。開発した新システムを採用すれば、高効率な製造設備を用いて、より高品質に半導体を製造できるようになる。　新システムはヒーターと電力制御コントローラーで構成され、中間製品のウェハに１枚ずつ高...