産総研/ゲルマニウム単結晶の薄膜化技術開発
産業技術総合研究所(産総研)は5日、ゲルマニウム(Ge)単結晶を膜厚10ナノメートル以下に薄膜化する技術を開発したと発表した。 さらに、この均一なGe超薄膜を絶縁膜で挟むとGe膜中の電子移動度が急激に向上する新現象も発見した。高速情報処理を低消費電力で行える大規模集積回路(LSI)の実現や新たな電子・光デバイスへの応用展開が期待されている。...
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