大同特殊鋼は１７日、高硬度・高耐食ニッケル基合金「ＤＳＡ　Ｄ２２」を開発したと発表した（特許出願中）。耐ガス腐食性の確保に必要な成分を精緻に見極め省合金化を図ったことで、現在高耐食材として広く採用されているＤＳＡＬＯＹ２２と同等の耐ガス腐食性を持ちつつ被削性を大幅に向上させた。高耐食性と部品コスト低減の両立に寄与する材料として、半導体製造装...