レーザー微細加工の新技術/東北大が開発、半導体加工など応用へ
東北大学の多元物質科学研究所は、材料と空気の界面での光の反射・屈折の効果を使うことで、レーザー微細加工における加工分解能を飛躍的に向上できる条件を発見したと発表した。ガラスの裏面にベクトルビームと呼ばれる特殊なレーザー光を照射して裏面に集光させると、レーザー波長の16分の1程度となるナノメートルスケールの微小な穴が形成されることを実証した。...
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