日本製鋼所と三菱ケミカル/窒化ガリウム基板大型実証設備で結晶成長確認/2022年度から市場供給開始へ
新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)は19日、日本製鋼所と三菱ケミカルが、5月に稼働させた世界最大級の窒化ガリウム(GaN)基板製造実証設備を使い、計画通りに4インチGaN基板上の結晶成長が可能であることを確認したと発表した。両社が参画するNEDOの助成事業「戦略的省エネルギー技術革新プログラム」の実証試験で確認した。今後も超高効...
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