透明導電性薄膜の製造/ニコンと東北大が新手法/ITOナノ粒子の霧で成膜
ニコンと東北大学多元物質科学研究所は、水に安定的に分散するITOナノ粒子を独自に開発し、低環境負荷の成膜法である「ミストデポジション法」での透明導電性薄膜の製造に成功したと発表した。ナノ粒子を含む霧を用い、常温・常圧下の環境に優しい条件で基板上にナノ粒子を緻密に堆積できる。別途開発したITOナノ粒子の水分散液を用い、透明導電性薄膜を製造した...
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