大口径窒化ガリウム基板の製造設備竣工/日本製鋼所と三菱ケミカル
日本製鋼所と三菱ケミカルは18日、世界最大級の窒化ガリウム(GaN)単結晶基板を製造する設備を竣工したと発表した。北海道室蘭市の日本製鋼所M&Eの室蘭製作所構内に大型設備を完成。2021年度は4インチの窒化ガリウム基板の量産に向けた実証実験を行い、22年度初の市場供給開始を目指す。パワーデバイス用途に適用可能な6インチ基板の開発にも取り組む...
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