明電舎、成膜装置で新会社/常温で酸化アルミを原子積層
明電舎は17日、成膜装置の新会社を4月1日付で設立すると発表した。明電舎で培ってきた高純度オゾン連続供給装置(POG)と常温下でOHラジカルを発生させる技術を組み合わせ、独自の原子積層/オゾン―エチレンラジカル生成(ALD/OER)で高品質な酸化アルミニウム膜が成膜できるのが特長。分社することで機動的な活動を図り、2022年度にも年商100...
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