明電舎、成膜装置で新会社／常温で酸化アルミを原子積層
明電舎は１７日、成膜装置の新会社を４月１日付で設立すると発表した。明電舎で培ってきた高純度オゾン連続供給装置（ＰＯＧ）と常温下でＯＨラジカルを発生させる技術を組み合わせ、独自の原子積層／オゾン―エチレンラジカル生成（ＡＬＤ／ＯＥＲ）で高品質な酸化アルミニウム膜が成膜できるのが特長。分社することで機動的な活動を図り、２０２２年度にも年商１００...
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