台湾CSCグループ/超高真空チャンバー用「6061シリーズアルミ合金」開発
台湾・中国鋼鉄(CSC)は6日、グループ企業の中鋼アルミ業(CSCアルミ)と共同で、超高真空チャンバー向けA6061アルミ合金を開発した、と発表した。 半導体製造作業のほとんどは真空チャンバー内で完了する必要があり、真空チャンバーの素材は軽量で熱伝導率が良く、加工が容易などの特性が必要となる。半導体受託生産の世界最大手とされるTSMCがある...
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