SiCウェハ用研磨材/三井金属が生産能力増強
三井金属は、SiC(炭化ケイ素)ウェハ用研磨材の生産能力を増強すると発表した。需要拡大に対応するため、三池機能性粉体工場(福岡県)で生産しているSiCウェハ用研磨材「NANOBIX」の生産能力を2023年度内に年間50トン以上に増強する。 パワーデバイス用材料として使用されるSiCウェハは非常に硬く、この表面を原子レベルまで平滑にするには優...
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