昭和電工マテCMPスラリー増強投資/茨城県補助金事業に認定
昭和電工マテリアルズは先月24日、山崎事業所勝田サイト(茨城県ひたちなか市)で計画している半導体集積回路向け平坦化用研磨材料「CMPスラリー」の設備投資が茨城県補助金事業に認定されたと発表した。CMPスラリー事業は、山崎事業所(茨城県日立市)で次世代デバイス向け製品の研究開発に取り組んでおり、茨城県内に開発と生産拠点の両方を構えることで世界...
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