名古屋大など/半導体ウエハの結晶欠陥など可視化/検査工程・業務を効率化
新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)は、NEDOの「官民による若手研究者発掘支援事業」において、名古屋大学とMipoxが、半導体ウエハ全体の結晶欠陥(転位)やひずみの分布を可視化する技術を開発したと発表した。グレーのコントラストで形成された画像の中から転位の位置情報を抽出し、転位の数密度や分布の様子をカラースケールで可視化(ヒート...
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