東大など/酸化シリコン保護膜の導電性向上/次世代太陽電池などに活用
東京大学生産技術研究所と東海国立大学機構、名古屋大学は、シリコンナノ結晶により導電性を向上させた酸化シリコン保護膜を開発したと発表した。シリコン系太陽電池の長期信頼性向上や、異種材料を積層した高性能な次世代シリコン系太陽電池などの開発に貢献できるとしている。 同研究では、電気抵抗が高く厚い酸化膜の中に数ナノメートルのシリコンナノ結晶を複合化...
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