日本半導体製造装置協会は１７日、５月の日本製半導体製造装置販売高（暫定値、３カ月移動平均）が前年同月比４８・６％増の３０５４億５００万円だったと発表した。　直近最高水準だった４月を上回り、単月で３千億円を記録した。液晶製造装置販売高（同）も同５３・７％増の４５８億２８００万円となり、前月比では１割減だったものの依然として好調を持続した。