三菱マテリアル/配線用黒化膜ターゲット/日本表面真空学会「SP部会賞」を受賞
三菱マテリアルが開発した有機EL・液晶TFT配線用黒化膜スパッタリングターゲット「ディアブラ」が、日本表面真空学会のスパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)の第166回定例研究会において、SP部会賞を受賞した。同受賞を受け、3月26日に開催された授賞式で記念講演を行った。 「ディアブラ」は、従来品と比べ各種ディスプレーのさら...
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