パワー半導体ウエーハの評価法/新金属協会が標準規格策定
新金属協会は、パワー半導体用ウエーハの不純物測定法に関する二つの協会規格を策定した。測定方法を標準化することでシリコンサプライチェーンの安定化につなげる。今後は策定した二つの規格について、ISOなど適切な国際規格化を目指す。 今回策定したのは「室温FT―IR(フーリエ変換型赤外吸収)法によるシリコン単結晶中の低濃度置換型炭素原子濃度の測定方...
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