JX金属・茨城事業所/次世代半導体材料/量産設備立ち上げ完了
JX金属は6日、茨城事業所(日立地区)で導入を進めていた次世代半導体向けCVD・ALD材料の量産ラインの立ち上げが完了し、顧客への出荷を開始したと発表した。製造するのは3D―NAND向けCVD・ALD材料であるモリブデン化合物で、今後は同事業所で同製品以外のCVD・ALD材料の開発・製造も視野に入れている。 同社は、子会社の東邦チタニウム・...
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