FPD向け新ターゲット材料/三井金属が量産・販売開始
三井金属は14日、透明導電膜用のパーティクルおよびエッチング残渣削減に貢献するスパッタリングターゲット材料「WL―TCO」の量産および販売を開始したと発表した。水分を導入しない状態のスパッタリングでITO(酸化インジウムスズ)と同等の導電性、透明度を有する透明導電膜の成膜が可能で、パーティクル抑制によるフラットパネルディスプレー(FPD)の...
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