三井金属は14日、透明導電膜用のパーティクルおよびエッチング残渣削減に貢献するスパッタリングターゲット材料「WL―TCO」の量産および販売を開始したと発表した。水分を導入しない状態のスパッタリングでITO(酸化インジウムスズ)と同等の導電性、透明度を有する透明導電膜の成膜が可能で、パーティクル抑制によるフラットパネルディスプレー(FPD)の...