パワー半導体製造の環境負荷低減/豊田中央研と被膜技術の実施許諾契約/三井金属
三井金属は27日、豊田中央研究所(愛知県)との間で、豊田中央研究所が所有する「TaC(タンタルカーバイド)被膜技術」に関する実施許諾契約を締結したと発表した。同社セラミックス事業部とのシナジーを創出し、SiC(炭化ケイ素)パワー半導体製造工程向けなどの製品開発を進める。 開発する製品は、ユーザーのSiCパワー半導体製造工程での環境負荷低減や...
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