ＴＡＮＡＫＡホールディングス（社長・岡本英彌氏）は４日、めっき事業を展開するグループ会社、日本エレクトロプレイティング・エンジニヤース（ＥＥＪＡ）が安価で小型・高機能な半導体ウエハー用全自動めっき装置を開発し、きょう５日から販売を開始すると発表した。従来品と比べ価格は約４０％安くなり、装置サイズは約４０％小型化、生産スピードは約１・５倍に向上...