昭和電工は14日、パワー半導体の材料である炭化ケイ素(SiC)エピタキシャルウエハー(エピウエハー)の高品質グレードエピウエハー「ハイグレードエピ(HGE)」の生産能力を増強すると発表した。秩父事業所に設備を導入し、18年4月からの稼働を目指す。月産能力は現在の3千枚から5千枚に拡大する。 SiCパワー半導体は、現在主流のシリコンに比べ耐高...