三菱マテリアルは１９日、有機ＥＬディスプレー用銀合金スパッタリングターゲットの新製品を開発し、量産を開始したと発表した。ターゲット材を形成する結晶の金属組織がより微細となったほか、接合などの継ぎ目無しで大型サイズにも対応できる。金属組織がターゲット全体にわたって均一なことも特長。また、同製品の開発に合わせ、銀合金スパッタリングターゲットの製...