スマートフォンやパソコン、デジタル家電、自動車など人々の生活を豊かにするさまざまな製品に使用されている半導体。その半導体チップの基板材料となるのがシリコンウエーハだ。シリコンは地表付近で酸素に次いで２番目に多い元素で、資源量・埋蔵量が豊富であることに加え、高純度化と抵抗制御がしやすいことから半導体チップの基板として長く使われている。　シリコ...