産業技術総合研究所は９日、ウエハーメーカーを含む民間企業１７社、公的機関３機関との連携で、次世代パワー半導体用炭化ケイ素（ＳｉＣ）ウエハーの新しい量産技術の確立を目指した大型共同研究を開始したと発表した。材料、装置、プロセス技術などウエハー製造に関連する各種技術分野の垣根を超えた連携開発の場を提供し、ＳｉＣインゴットを作るバルク単結晶成長プ...