昭和電工/パワー半導体用SiCウエーハ/世界最大6インチ品量産化
昭和電工(社長・市川秀夫氏)は先月30日、パワー半導体用SiC(炭化シリコン)エピタキシャルウエーハで世界最大サイズとなる6インチ品の量産化技術を確立したと発表した。また、従来から製造していた4インチ品も均一性を向上させた新グレード製品を開発。両製品とも10月から販売を開始する。今後はさらなる品質向上、生産能力増強に取り組み、月産能力を現在の...
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