エア・ウォーターグループのエア・ウォーター・メカトロニクスは平塚工場(神奈川県平塚市)内に新棟を建設、18日から稼働を開始した。新棟の延べ床面積は820平方メートルで、投資額は約4億円。拡大する半導体需要を受け、半導体製造向けガス精製装置の増産と大型化に対応していく考えで、製作能力は従来の1・6倍となる。 同社は独自開発した触媒や透過膜を搭...