ノベルクリスタルテクノロジーなど/第3世代酸化ガリウムウエハ開発/デバイスの大電流化可能に
新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)は、NEDOの「戦略的省エネルギー技術革新プログラム」において、ノベルクリスタルテクノロジー(NCT)が佐賀大学と共同で、第3世代酸化ガリウム(Ga)100ミリエピウエハを開発したと発表した。エピウエハ製造技術を改良し、デバイスの耐圧特性を劣化させる欠陥(キラー欠陥)を従来の10分の1に低減した...
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