産業技術総合研究所は５日、大口径平面基板の平面度を世界最高精度で測定できる装置を世界で初めて開発したと発表した。直径６００ミリまでの平面基板をナノメートルレベルの精度で凹凸を測定できる。今春をめどに、同測定装置を用いて口径６００ミリまでの平面基板に対して測定精度５ナノメートルの平面度を測定するサービスを開始する予定。宇宙望遠鏡や天体望遠鏡、...