住友金属鉱山/貼り合わせSiC基板/世界初、12インチ開発に成功/製造コスト低減に寄与
住友金属鉱山は18日、世界初となる12インチ(300ミリ)の貼り合わせシリコンカーバイド(SiC)基板「サイクレスト」の開発に成功し、半導体メーカーへサンプル出荷したと発表した。基板の大口径化によって需要家の製造コスト低減や生産効率の向上に寄与する。 サイクレストは、パワー半導体の主要材料となるSiC基板で、独自の接合技術を応用してウェハー...
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