廃棄物とCO2のSiCパワー半導体材料/レゾナックと東北大が研究
レゾナックと東北大学大学院工学研究科は8日、シリコンウェハーの製造過程で発生する廃棄物(シリコンスラッジ)と二酸化炭素(CO2)を原料とした炭化ケイ素(SiC)粉末を、パワー半導体に用いるSiC単結晶材料の成長用原料として応用するための本格的な検討を開始したと発表した。この技術が実用化すれば、SiCパワー半導体は製造工程でもCO2排出量の削...
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