高純度炭化ケイ素粉末原料/産総研など開発/単結晶の成長速度2倍に
産業技術総合研究所(産総研)はこのほど、太平洋セメントおよび屋久島電工と共同で、パワー半導体用炭化ケイ素(SiC)バルク単結晶の高速成長を可能とする昇華法用高純度SiC粉末原料を開発したと発表した。ガスの透過性を利用した空気透過法(ブレーン法)を用いて現状の製造工程での温度条件を大きく変えずに成長速度を約2倍に向上させることが可能となり、高温...
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