新金属協会はシリコン・エピタキシャル(エピ)層の電圧測定による抵抗率測定方法について、SEMI規格化を目指す。同協会内の規格を国際標準とする活動で、準備を始めている。進ちょくについて、石垣宏毅専務理事は「SEMIの中に規格策定を検討するワーキンググループをこれから作ってもらう段階だ。今年、来年と継続してやっていきたい」と述べた。 SEMIは...