パワー半導体用SiCウエハー/加工歪み検査技術を開発/豊田通商が産学連携で
豊田通商は、関西学院大学、山梨技術工房とともに、パワー半導体材料の製造プロセスで生じる結晶の加工歪みを検査する技術を共同開発したと9日発表した。パワー半導体は、自動車や産業機器のカーボンニュートラル(CN)に向けて採用拡大が期待されているが、加工時の歪みが半導体の不具合にもつながるため、具体的な検査技術が求められていた。同技術により、パワー...
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