アルゴヴィジョンテクノロジズ/半導体製造装置部品の精密仕上げを実現
アルゴヴィジョンテクノロジズ(本社・京都府、代表取締役・立花昇一氏)はこのほど、流体力学と革新的な設計を融合させた画期的な流体研磨装置技術を発表した。 同技術はこれまでの研磨技術を大きく進化させ、半導体製造装置の部品加工に新たな価値を提供するという。 半導体はナノメートルメートル単位の精密な加工と高い信頼性が求められている。半導体製造装置自...
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