三菱マテリアルは２３日、高熱伝導性・低熱膨張性を持ち、優れた加工性を有する金属・セラミックス複合材料を開発したと発表した。粉末冶金技術を駆使し、高度に材料組織を制御することで実現した。さまざまな金属とセラミックスの組み合わせや、その配合比率を変えることができるため、半導体実装周辺部材や半導体製造装置用部品などで求められる熱マネジメント部材の...